以第一型再生能源發電設備設置地熱能發電設備者，應於取得地熱能開發許可後，依電業法及其相關規定取得工作許可證。
以第二型再生能源發電設備設置地熱能發電設備者，應於取得地熱能開發許可後，依電業法及其相關規定取得工作許可函。
以第三型再生能源發電設備設置地熱能發電設備者，應於取得地熱能開發許可後，依本條例及其相關規定取得同意備案文件。
前三項地熱能發電設備設置者，應裝置量測設備，逐日記錄發電使用水量、尾水回注量及其他必要事項，並按季送主管機關及直轄市、縣（市）水利主管機關備查（附件七）。但經主管機關依本條例
第十五條之二第四項但書規定同意其地熱能發電設備發電後之尾水不須回注原地下水層達取用量百分之九十以上者，不在此限。