招商獎勵人應依經核准招商計畫之重要查核點執行，並依下列規定向主管機關申請撥付各期招商作業獎勵金，除有正當理由外，逾期未申請者，視為放棄請領：
一、第一期：前條第二項通知送達後三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商作業獎勵金金額之百分之十。
二、第二期：招商獎勵人或經主管機關核准之執行單位與廠商完成簽約，於其發函通知廠商簽約完成之日起三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商作業獎勵金金額之百分之二十。
三、第三期：若招商涉及土地為原住民族基本法
第二十一條所稱應諮商並取得同意或參與之區域，招商獎勵人或經主管機關核准之執行單位應協助、輔導廠商辦理招商作業有關土地利用之在地說明會及辦理原住民族或部落諮商並取得同意或參與等措施，並將相關意見送請主管機關審核，於主管機關同意後三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商作業獎勵金金額之百分之三十。
四、第四期：廠商取得地熱能發電設備電業執照或再生能源發電設備登記文件之日起三十日內，檢具應備文件（附件三）向主管機關請領招商作業獎勵金之餘額，經主管機關核實後撥付。
前項各款應備文件內容如有疑義，主管機關得通知招商獎勵人限期提出書面說明、到場說明或進行其他必要程序。
招商作業獎勵金為實支實付，招商計畫執行結束時，如有剩餘，應全數返還主管機關。
招商獎勵人請領之招商作業獎勵金，應納入其年度預算。