獎勵補助之項目及金額如下：
一、線路與併聯補助：併網型示範系統，每案補助金額合計以新臺幣十萬元為上限：
（一）系統併聯衝擊分析費用。
（二）系統併聯審查費用。
（三）引接線工程費用。
（四）加強電網費用。
（五）線路補助費用。
（六）系統併升壓費用。
二、示範機組設備補助：包括獨立型示範系統，示範機組設備之採購及安裝等相關費用，其補助金額以示範機組總裝置容量核計，每瓩補助金額以核發同意備案之年度，本部訂定躉購費率計算參數採用之期初設置成本之百分之四十為上限。
三、宣導活動補助：每案之補助金額以新臺幣三十萬元為上限。
四、示範計畫作業補助：每案之補助金額以新臺幣二十萬元為上限。
前項第二款至第四款之補助總金額不得超過該示範系統實際設置費用之百分之五十。
第一項第一款線路與併聯補助費用若獲其他機關補助者，應依其補助金額上限扣除其他機關補助額度後計之。
中央主管機關依政府資訊公開法規定，應將補助事項、補助對象、核准日期及核定補助金額等相關資訊，公開於網站。