晶圓製造及半導體製造業放流水標準 第7條

本標準各項目限值，除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外，均為最大限 值，其單位如下： 一、水溫：攝氏度（℃）。 二、其餘各項目：毫克／公升（mg/L）。