關鍵技術審議會置委員二十一至二十七人，其中一人為召集人，由國科會主任委員兼任；委員由國科會就下列人員聘（派）兼任之：
一、補助、委託、出資科學技術研究發展之政府機關（構）代表。
二、依法編列預算進行科學技術研究發展之公立研究機關（構）代表。
三、國防、情報、治安、大陸事務及司法機關（構）代表。
四、具有科學技術研究發展、科技政策、產業分析、法律或其他相關專業學識經驗之專家學者。
五、具領導型技術或對經濟發展有重要影響之產業專家。
關鍵技術審議會委員均為無給職。但得依規定支給出席費、交通費及審查費。
委員任期二年，期滿得連任一次。但代表機關（構）出任者，應隨本職進退。委員任期內出缺時，國科會得補行聘（派）兼任至原任期屆滿之日止。