家屬生活維持費之發給程序如下：
一、原部隊：於層報本部停役後，依前條第一項規定順序通知家屬得領受家屬生活維持費，並將失蹤通報令、失蹤被俘人員停役令，及其在職期間全部待遇啣補資料，送國防部全民防衛動員署後備指揮部（以下簡稱後備指揮部）彙整。
二、後備指揮部：
（一）通知家屬備齊家屬協議書正本、本部指定之金融機構存簿影本及最近二個月內之戶籍謄本等文件、資料，送本部審查。
（二）於本部核定家屬生活維持費後，繕造發放冊送本部主計局財務中心所屬財務單位按月發給。
家屬生活維持費之發給，其起支月份，應銜接國軍官兵之薪餉核發，並以薪餉發放日為入帳日。
應徵召服役失蹤或被俘人員家屬生活維持費，除依本辦法規定發給外，原有之優待及生活扶助，由列管直轄市、縣（市）後備指揮部協調所屬直轄市、縣（市）政府繼續發給。