本標準專有名詞及符號定義如下：
一、光電材料及元件製造業（以下簡稱光電業）：指從事液晶面板製造及其相關材料、元件或產品製造者。但僅從事二極體元件製造者不在此限。
二、揮發性有機物（Volatile Organic Compounds，VOCs）：指含有機化合物之空氣污染物總稱。但不包含甲烷、一氧化碳、二氧化碳、碳酸、碳化物、碳酸鹽、碳酸銨等化合物。
三、單位小時許可排放量：指單一公私場所內所有製程，其固定污染源操作許可證所登載單一空氣污染物之年許可排放總量，依核定之年操作時數換算為單位小時排放量稱之；單位為公斤／小時。
四、密閉排氣系統（Closed Vent System）：指可將製程設備產生之空氣污染物有效捕集並輸送至污染防制設備，使傳送之氣體不直接與大氣接觸之系統。該系統包括管線及連接裝置。
五、單位小時管道排放量（以下簡稱管道排放量）：指單一排放管道之空氣污染物排放量；單位為公斤／小時。
六、污染防制設備處理效率（以下簡稱處理效率）：指空氣污染物經污染防制設備處理後之排放量削減百分比，依同步檢測污染防制設備前端及後端廢氣濃度及排放量進行計算，其計算公式如下：
處理效率＝（E-E0）／ E ×100％；單位為％。
E ：經密閉排氣系統進入污染防制設備前之空氣污染物單位小時排放量；單位為公斤／小時。
E0：經污染防制設備後逕排大氣之空氣污染物單位小時排放量；單位為公斤／小時。
七、新設製程：指本標準發布施行日起設立之製程。
八、既存製程：指本標準發布施行日前已完成建造、建造中、完成工程招標程序或未經招標程序已完成工程發包簽約之製程。但既存製程符合固定污染源設置與操作許可證管理辦法
第三條規定之變更條件者，以新設製程論。
九、使用量：指以溶劑、樹脂或其他形式使用於製程之含揮發性有機物、氫氟酸或鹽酸原物料使用量。
十、輸出量：指隨廢溶劑、廢棄物、廢水、產品攜帶或其他形式輸出製程之揮發性有機物、氫氟酸或鹽酸輸出量。
十一、每季有效監測時數百分率：指監測設施每季之有效監測時數比率，其計算公式如下：
T –（Du＋Dm）
P ＝───────×100 ％
T–t
P ：每季有效監測時數百分率；單位為％。
T ：固定污染源每季操作時間；單位為小時。
t ：監測設施汰換時間；單位為小時。
Du：監測設施無效數據時間；單位為小時。
Dm：監測設施遺失數據時間；單位為小時。