本中心人員之職等及員額，另以編制表定之。
行政院國家科學委員會精密儀器發展中心編制表
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│職 稱│官 等│員 額│備 考│
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│主任 │簡任 │一 │ │
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│副主任 │簡任 │一 │ │
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│組長 │簡任 │三 │ │
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│副組長 │薦任至簡任│三 │ │
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│室主任 │薦任 │一 │ │
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│秘書 │薦任 │一 │ │
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│課長 │薦任 │二 (一○) │兼任人員由工程師兼任。 │
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│工程師 │薦任 │六–一○ │內三人得列薦任。 │
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│副工程師 │薦任 │四–五 │ │
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│助理工程師│委任或薦任│八–一○ │ │
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│技術員 │委任或薦任│八–一○ │ │
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│組員 │委任或薦任│四–五 │ │
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│辦事員 │委任 │一 │ │
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│書記 │委任 │四 │ │
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│人│主任 │薦任 │一 │本職稱之職等，在「甲、中│
│事│ │ │ │央機關職務列等表之十二」│
│室│ │ │ │未規定前，暫以「薦任第八│
│ │ │ │ │職等」辦理。 │
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│ │助理員│委任 │一 │ │
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│會│會計主│薦任 │一 │本職稱之職等，在「甲、中│
│計│任 │ │ │央機關職務列等表之十二」│
│室│ │ │