公司同一課稅年度購置自行使用於先進製程之全新機器或設備之支出，得按該支出總金額百分之五，抵減當年度應納營利事業所得稅額，並以不超過該公司當年度應納營利事業所得稅額百分之三十為限。
前項所稱當年度，指公司購置自行使用於先進製程之全新機器或設備之交貨年度。
第一項所定支出總金額，應減除政府補助款，並依下列規定認定，且以稅捐稽徵機關核定數為準：
一、向他人購買取得者，指取得該機器或設備之價款、運費及保險費，不包括為取得機器或設備所支付之其他費用。
二、融資租賃取得者，指認列資產之金額屬價款、運費、保險費部分。
三、自行製造者，指生產該機器或設備所發生之實際成本。
四、委由他人製造者，指委由他人生產該機器或設備實際支付之價款、運費、保險費及自行負擔之部分生產成本，不包括為取得該機器或設備所支付之其他費用。