本辦法所稱居國際供應鏈關鍵地位，指公司生產之產品或提供之服務應用於涉及二個以上國家或地區之產業供應鏈，且其產品或服務於該產業供應鏈任一環節具顯著影響力。
本辦法所稱前瞻創新研究發展，指公司投入國際領先技術或成熟製造技術之創新性應用研究發展活動，其適用領域由經濟部（以下簡稱本部）公告。
本辦法所稱先進製程之全新機器或設備，指公司投入開發國際領先技術進行商業化量產，或發展已達商業化量產之成熟製造技術之創新性應用，所購置自行使用之全新機器及設備。
本部應每二年邀請相關產業界、學術界、研究機構與政府機關代表檢討第二項規定之適用領域及前三項規定之定義。