公私場所具有下列情形之一者，地方主管機關應廢止或撤銷其已核發之減免額度或減免資格證明：
一、公私場所取得第一階段設置前核發之減免額度百分之四十者，經地方主管機關查驗，未於附表空氣污染防制設備施工計畫書所定期程一年內施工者，地方主管機關應廢止其減免額度，並追繳已核發之減免額度百分之四十。施工進度落後達百分二十者，地方主管機關應廢止，並追繳該防制設備之減免額度百分之十，並得按次廢止，並追繳減免額度，最高累計至百分之四十。但有特殊情形致施工進度落後或因事實需要變更計畫內容、施工期程，且提出書面說明報經主管機關核准者，不在此限。施工期程之延長，最多不得超過一年。
二、公私場所完工驗收後，尚未取得地方主管機關核發之第二階段及第三階段減免額度百分之六十者，經查驗與原申請審查核定內容不符，地方主管機關應撤銷減免額度百分之六十。
三、公私場所取得完工驗收後第二階段核發之減免額度百分之四十或取得操作一年後第三階段核發之減免額度百分之二十者，經主管機關查核該防制設備相關操作條件與原申請審查核定內容不符者，撤銷並追繳該防制設備之減免額度百分之十，並得按次廢止或追繳減免額度，最高累計至百分之六十。
四、公私場所取得耗材費用減免資格證明後，經主管機關查核該防制設備相關操作條件與原申請審查核定內容不符者，撤銷該防制設備耗材費用減免資格證明。