申請人應檢具下列文件一式八份，向土地所在地之直轄市、縣（市）主管機關申請用地計畫核定：
一、申請表。
二、特定工廠登記文件影本。
三、用地計畫書。
四、土地所有權人出具之土地變更編定同意書。
五、依農業主管機關同意農業用地變更使用審查作業要點規定，涉及農業用地變更者，應擬具農業用地變更使用說明書。
六、依非都市土地變更編定執行要點規定之環境敏感地區查詢結果，且仍於有效期間內之文件。
七、依環保法規應檢送之計畫、評估調查檢測資料或取得有效之各項許可文件。
八、依環境影響評估法規定，應實施環境影響評估者，檢附環境影響評估核定文件。
九、屬山坡地並經認定須擬具水土保持計畫者，應檢附水土保持完工證明文件。
十、計畫用水量達水利法
第五十四條之三規定者，檢附用水計畫核定文件。
十一、其他經直轄市、縣（市）主管機關公告規定之書件。
前項第七款至第十一款文件，得檢送取得特定工廠登記時經各法規主管機關審查核定且在有效期限內之計畫、審查許可或完工證明等文件。但有下列情形之一，經各該法規主管機關認定須依用地計畫內容重新審查者，申請人應重新提送該文件：
一、申請面積與特定工廠登記廠地面積不一致。
二、土地使用計畫內容與取得特定工廠登記時規劃配置不一致。
三、增加或變更低污染之產業類別及主要產品。
四、原核定文件逾期失效。
五、法規變更。