開發特殊性工業區者，應於開發前提出緩衝地帶及空氣品質監測設施設置計畫，報請直轄市、縣（市）主管機關審查通過後，始得開發。
前項緩衝地帶及空氣品質監測設施設置計畫，應載明下列事項：
一、特殊性工業區基本資料：
（一）開發單位、總基地面積、容納之特殊性工業類別及面積、容納特殊性工業類別面積占總基地面積比例。
（二）特殊性工業區內特殊性工業類別土地利用配置圖說。
（三）特殊性工業區外五公里範圍內土地利用配置圖說。
二、緩衝地帶設置計畫：
（一）緩衝地帶面積或寬度、綠帶面積、隔離水道面積及其配置說明。
（二）綠帶內樹木種類、樹木株數等之綠化計畫。
（三）設置工程進度及經費估算。
三、空氣品質監測設施設置計畫：
（一）監測項目、監測方法、設施規格及人工操作監測時程規劃表。
（二）監測站位址、監測設施之配置圖及其說明。
（三）應用之氣象資料、空氣品質擴散模擬及空氣品質現況之說明。
（四）監測設施操作及維護之說明。
（五）監測中心位置、監測數據之蒐集處理、記錄及連線方式。
（六）品質保證及品質管制執行方法說明。
（七）設置工程進度及經費估算。
四、其他經中央主管機關指定之事項。
中華民國一百零一年九月二十二日（含）前已開發之特殊性工業區，開發單位應於中華民國一百零三年三月三十一日前提出空氣品質監測設施設置計畫，報請直轄市、縣（市）主管機關審查。
特殊性工業區緩衝地帶或空氣品質監測設施設置內容變更時，開發單位應於變更前提出緩衝地帶或空氣品質監測設施設置修正計畫，報請直轄市、縣（市）主管機關審查通過後，始得變更。