直轄市、縣（市）主管機關受理緩衝地帶及空氣品質監測設施設置計畫後，應於四十五日內完成審查。
前項計畫經審查不合規定者，直轄市、縣（市）主管機關應通知限期補正；屆期未補正者，駁回其計畫。但已於期限內補正仍不合規定或內容欠缺者，審查機關得再通知限期補正。各次補正日數不算入審查期限內，且補正總日數不得超過九十日。
特殊性工業區緩衝地帶及空氣品質監測設施位於不同直轄市、縣（市）者，直轄市、縣（市）主管機關受理其緩衝地帶及空氣品質監測設施設置計畫後，應會商緩衝地帶及空氣品質監測設施所在地之直轄市、縣（市）主管機關辦理審查作業。