本部得遴聘政府相關機關（構）代表、專家與學者三人至七人組成審議小組，進行各階段申請案件之審查及評選，各階段審查及評選內容如下：
一、規劃評估階段：依示範計畫之完整性進行審查。
二、執行設置階段：依執行計畫之可行性及經費合理性等項目進行審查，並得就完成設置之再生能源發電設備（或含儲能設備）辦理相關審查事宜。
申請獎勵對象應於本部函知審查獎勵結果之日起一個月內，依審查會議紀錄提送修正文件後，由本部函知核定獎勵內容。
第一項經核准之各階段獎勵案內容，非經本部核准，受獎勵對象不得變更之。惟因不可抗力因素，受獎勵對象得敘明理由並向本部申請辦理計畫變更。