前條第一項監測設施汰換、量測位置變更之日起、第二項故障或損壞發生日起及第三項拆除、停電日起十日內，公私場所應完成該監測設施之固定污染源第一次檢測，至提報監測設施確認報告書完成審核前，或至拆除安裝後或復電後完成零點偏移及全幅偏移測試符合性能規格前之期間內，該監測設施之固定污染源應每週實施檢測一次，並應作成紀錄，保存六年備查。但有下列情形之一，報經直轄市、縣（市）主管機關核可者，不在此限：
一、因不可歸責於己之事由，致無法符合檢測規定之頻率。
二、固定污染源執行歲（檢）修期間、停工或固定污染源停電期間。
三、僅涉及數據採擷及處理系統汰換者，於原數據採擷及處理系統可正常運作期間，且其原始數據可保存且於次日依
第二十二條或
第二十四條規定申報監測紀錄期間。
四、於監測設施確認程序執行相對準確度測試查核當週，該監測項目得免實施檢測，且免經直轄市、縣（市）主管機關核可。
五、設置粒狀污染物重量濃度監測設施之固定污染源，得以粒狀污染物不透光率監測設施替代檢測作業，且監測設施使用期間，應符合本辦法規範。
六、監測設施該月累積停電時數低於三十六小時，或因不可歸責於己之事由致監測設施停電期間。
前項每週實施檢測之結果，符合下列情形之一者，公私場所得檢具相關證明資料，向直轄市、縣（市）主管機關報備後，調整為每二週檢測一次：
一、檢測結果連續二次皆小於其排放標準值之二分之一，且二次排放係數值差異在百分之二十以內。
二、粒狀污染物檢測結果連續二次皆小於五mg／Nm³與排放標準值，且其二次檢測濃度差值小於一mg／Nm³；氣狀污染物檢測結果連續二次皆小於二十ppm與排放標準值，且其二次檢測濃度差值小於六ppm。
三、稀釋氣體、排放流率或廢氣燃燒塔各量測項目連續二次檢測結果差異在百分之二十以內。
前項檢測頻率之調整，不同監測項目應個別認定之。但稀釋氣體或排放流率同時與粒狀污染物重量濃度或氣狀污染物實施檢測時，其檢測頻率應與粒狀污染物重量濃度及氣狀污染物監測項目之最小檢測頻率一致。
廢氣燃燒塔無法依第一項實施排放流率檢測者，公私場所得檢具相關資料報經直轄市、縣（市）主管機關核可後，建立替代指標與排放流率之換算關係或採用其他替代方式。
公私場所執行第一項粒狀污染物不透光率監測設施之固定污染源檢測時，得以排放管道中粒狀污染物檢測方法執行。