公私場所經直轄市、縣（市）主管機關審查核可之監測設施應符合附錄一至附錄十之校正誤差、應答時間、相關係數、半範圍信賴區間百分比、半範圍容許區間百分比、應答關係式查核偏移、相對應答查核偏移、相對準確度、準確度、去除效率、差值平均值、訊號採集誤差及訊號平行比對誤差之性能規格。
經直轄市、縣（市）主管機關審查核可之各項監測設施，其監測數據之計算處理與數據狀態判定規範應符合附錄十一規定。
自中華民國一百十六年一月一日起，監測設施數據採擷及處理系統應設有登入帳號及密碼，人員登入及操作應作成紀錄，保存六年備查。