本辦法用詞定義如下：
一、初步評估：指進行土壤、地下水污染控制場址（以下簡稱控制場址）污染影響潛勢評估，並依評估結果評定是否公告為土壤、地下水污染整治場址（以下簡稱整治場址）。
二、處理等級評定：指依場址污染影響潛勢評估總分，評定由土壤及地下水污染整治基金支出費用之控制場址、整治場址優先順序。
三、場址污染影響潛勢評估：指進行土壤污染途徑影響潛勢評分及地下水污染途徑影響潛勢評分。
四、污染範圍調查：指調查污染場址之土壤及地下水污染分布狀況。
五、對環境影響之評估：指依場址污染潛勢評估總分評估污染場址對國民健康及生活環境之危害性。