應徵收物質若為化學物質，繳費人得檢具應徵收整治費化學物質之產製原料及製程內容說明，詳列直接產製原料已繳納整治費之成本百分比，向中央主管機關申請核定免徵比率。
前項免徵比率之計算方式如下：
一、由直接產製原料生產單一產品者：
免徵比率＝｛Σ〔直接產製原料分子量× 化學反應方程式係數× 直接產製原料整治費費率（元／公噸）〕／〔（產品分子量×化學反應方程式係數×產品整治費費率（元／公噸））〕｝×100％
二、由直接產製原料生產多種產品者：
免徵比率＝｛Σ〔直接產製原料分子量× 化學反應方程式係數× 直接產製原料整治費費率（元／公噸）〕／〔個別產品整治費費率（元／公噸）×Σ（產品分子量×化學反應方程式係數）〕｝×100％
三、無法以化學反應方程式表示之製程，其免徵比率＝｛Σ〔直接產製原料重量×直接產製原料整治費費率（元／公噸）〕／〔產品重量×產品整治費費率（元／公噸）〕｝×100％
前項免徵比率，其百分位數四捨五入至小數點第二位，大於百分之百以百分之百計；分子量之計算，四捨五入至小數點第一位。