本部得遴聘政府相關機關（構）代表、專家與學者三人至七人組成審議小組，進行各階段申請案件之審查及評選，從優擇定獎勵案件。各階段審查及評選內容如下：
一、推廣宣導階段：每年獎勵案件數以十案為原則，同一核心社區以一案為限。
（一）依據計畫書之計畫目的、再生能源公民電廠設置規劃草案、工作內容概述、具公民性之活動規劃、經費運用方式、執行時程規劃及預期效益等內容之完整性進行審查。
（二）未有編列資本門之項目。
二、實質設置階段：每年獎勵案件數以十案為原則。其中五案優先予獲推廣宣導階段獎勵者。
（一）依據再生能源公民電廠設置規劃報告進行審查。
（二）具投資意向社區居民或社區團體，其總投資金額至少應占規劃總設置經費之百分之二十，且社區居民參與人數及團體個數總和至少應達十五位（個）。
經核准之各階段示範獎勵案內容，非經本部核准，不得變更之。但有正當理由，受獎勵者得敘明理由向本部申請辦理變更。