申請實質設置階段獎勵者，應檢具下列文件向本部提出申請，並採隨到隨辦原則：
一、實質設置階段示範獎勵申請書（如附件四）。
二、再生能源公民電廠設置規劃報告（應含設置場址、再生能源發電設備類別、裝置容量、每瓩設置成本估算、相關設備費用預估明細、商業開發模式或自用發電經營模式設計、執行時程規劃、維運規劃、效益分析）一式十份（含光碟電子檔一式二份）。
三、社區居民或社區團體投資合作意向書（如附件五）。
四、社區居民或社區團體投資比率規劃表（如附件六）。
五、公職人員及關係人身分關係揭露表（如附件三）。但非屬公職人員或關係人者免填。
六、如為先申請推廣宣導階段後，始申請實質設置階段之受獎勵者，應檢附本部核定之執行成果。
七、再生能源發電設備設置於原住民族土地或部落及其周邊一定範圍內之公有土地者，應檢附原住民部落會議之議決同意文件。
八、其他經本部指定文件。