申請電腦軟體或排氣分析儀認可證者，應檢附下列文件，向中央主管機關申請認可：
一、申請函。
二、公司登記、商業登記或政府機關核准登記之證明文件。
三、負責人身分證明文件。
四、電腦軟體或排氣分析儀之名稱、規格、功能及運作條件。
五、使用手冊及維修手冊。
六、保證書。
七、其他經中央主管機關指定之文件。
申請標準氣體認可證者，應檢附下列文件，向中央主管機關申請認可：
一、氣體製造商應檢附之文件如下：
（一）申請函。
（二）公司登記、商業登記或政府機關核准登記之證明文件。
（三）負責人身分證明文件。
（四）原料氣體及校正氣體合理追溯源文件。
（五）製程工具準確性證明文件。
（六）產品有效使用期限驗證資料。
（七）產品販售時提供客戶之分析報告樣本。
（八）整體製程說明文件。
（九）製程工具型號規格說明。
（十）製程工具校正報告。
（十一）製程品質管制計畫書及其他相關製程品管文件。
（十二）其他經中央主管機關指定之文件。
二、氣體進口商應檢附之文件如下：
（一）前款第一目至第七目之文件。
（二）氣體製造、填充、分析及儲存場所環境說明。
（三）其他經中央主管機關指定之文件。
前二項文件除申請函、使用手冊及經中央主管機關指定之文件應為正本外，其他文件得以影本為之；必要時，中央主管機關得命其提供正本，以供查核。
檢附文件應製作對照目錄；相關文件如非中文，應一併檢附中文譯本。
中央主管機關於受理電腦軟體、排氣分析儀及標準氣體認可申請後，應於三十日內完成審查，必要時得延長為六十日。符合規定者，應於十日內核發認可證；不符規定者，應通知限期補正，逾期未補正者，駁回其申請。
機車排氣檢驗站應使用取得中央主管機關認可證之電腦軟體、排氣分析儀及標準氣體。